微型無油真空泵即微型隔膜泵,是指具備一進一出的抽氣嘴,、排氣嘴各一個，并且在進口處能夠持續(xù)形成真空或負壓,；排氣嘴處形成微正壓,；工作介質主要為氣體，體積小巧的一種儀器,。
    微型無油真空泵的基本原理：電機的圓周運動,，通過機械裝置使泵內(nèi)部的隔膜做往復式運動，從而對固定容積的泵腔內(nèi)的空氣進行壓縮,、拉伸形成真空（負壓）,，在泵抽氣口處與外界大氣壓產(chǎn)生壓力差,，在壓力差的作用下，將氣體壓（吸）入泵腔,，再從排氣口排出,。隨著儀器儀表工業(yè)的蓬勃發(fā)展，體積小巧,、無油的微型真空泵,、微型氣泵得到越來越廣泛的使用。
    微型泵的可靠性問題,。 根據(jù)微型無油真空泵出故障后產(chǎn)生后果的嚴重性而定,，根據(jù)自己的要求。品的平均無故障連續(xù)運行時間都大于1000小時,，有的高到數(shù)千小時,。特別注意，這項參數(shù)是在滿負荷,、不間斷的運行狀態(tài)下測定的,，是惡劣的工況，如果實際使用不是滿載或連續(xù)運行,，該數(shù)值會高一些，高多少視泵的工況而定,。