高轉(zhuǎn)速旋片式真空泵是真空技術(shù)中基本的真空獲得設(shè)備之一,，其技術(shù)支持體現(xiàn)在多個(gè)方面。高轉(zhuǎn)速旋片式真空泵通常采用雙級(jí)高速直聯(lián)結(jié)構(gòu)，由高壓級(jí)與低壓級(jí)兩部分組成,。這種設(shè)計(jì)使得泵在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)能夠?qū)⑷萜鲀?nèi)的氣體大量吸入與排出,，當(dāng)設(shè)備獲得真空時(shí)，高壓級(jí)排氣閥封閉,，高壓級(jí)入口的氣體將轉(zhuǎn)送到低壓級(jí),，并經(jīng)低壓級(jí)吸入與排出，從而獲得真空度,。泵內(nèi)偏心安裝的轉(zhuǎn)子與定子固定面相切,，旋片在轉(zhuǎn)子槽內(nèi)滑動(dòng)并與定子內(nèi)壁相接觸，將泵腔分為幾個(gè)可變?nèi)莘e,。當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí),，靠離心力和彈簧的張力使旋片泵腔的內(nèi)壁保持接觸，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動(dòng),。旋片把轉(zhuǎn)子,、泵腔和兩個(gè)端 蓋所圍成的月牙形空間分隔成幾個(gè)部分。當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí),，與吸氣口相通的空間容積逐漸增大,氣體被吸入而與排氣口相通的空間容積逐漸宿小,，氣體被壓縮并排出。高轉(zhuǎn)速旋片式真空泵通常具有較高的轉(zhuǎn)速,，從而提高了抽氣速率和真空度,。由于采用了先進(jìn)的降噪技術(shù)，高轉(zhuǎn)速旋片式真空泵在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生的噪聲較低,。高轉(zhuǎn)速旋片式真空泵通常采用緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),，使得其體積較小、重量較輕,，便于攜帶和安裝,。高轉(zhuǎn)速旋片式真空泵起動(dòng)簡(jiǎn)單快捷，無(wú)需復(fù)雜的操作過(guò)程,。高轉(zhuǎn)速旋片式真空泵因其優(yōu)異的性能而廣泛應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域,，如在晶圓清洗、光刻,、刻蝕,、薄膜沉積等工藝環(huán)節(jié)中,高轉(zhuǎn)速旋片式真空泵能夠提供穩(wěn)定的真空環(huán)境,滿足精密加工的需求。在真空鍍膜領(lǐng)域,，高轉(zhuǎn)速旋片式真空泵能夠快速抽除鍍膜室內(nèi)的空氣和其他雜質(zhì)氣體,，為鍍膜過(guò)程創(chuàng)造理想的真空環(huán)境。