低溫?zé)o油真空泵指的是利用20K以下的低溫表面凝聚吸附氣體的真空泵。低溫?zé)o油真空泵的工作原理和一般容積泵相同,，由定子,、轉(zhuǎn)子,、旋片、缸體,、電機等主要零件組成,。帶有旋片的轉(zhuǎn)子，偏心地安裝在定缸內(nèi),，當(dāng)轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn)時,，轉(zhuǎn)子槽內(nèi)四個徑向滑動旋片將泵腔分隔成四個工作室，由于離心力作用,，旋片緊貼在缸壁,，把定子進排出口分離開來，周而復(fù)始運轉(zhuǎn),，進行變?nèi)?，將吸入氣體，從排氣口排出,，從而達(dá)到抽氣目的,。（低溫?zé)o油真空泵